| 型号：VX3030 |
四、 技术规格
表1：
| 型号
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VX3030
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VX3030D
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图像传感器
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500万像素CMOS
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显示器
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机身显示器
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10.4英寸 LCD显示器（XGA：1024×768）
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外接显示器
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24英寸 LCD显示器（XGA：1920×1080）
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受光镜头
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双远心镜头
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照明系统
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落射系统
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四分割照明（白光）
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透射系统
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远心透过照明（绿色）
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测量视野
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广视野(mm)
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20×L120
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20×L120
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高精度(mm)
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/
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6×L106
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图像测量重复精度
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广视野
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座标台未移动
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±0.5μm
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±0.5μm
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座标台移动
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±1μm
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±1μm
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高精度
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座标台未移动
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/
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±0.1μm
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座标台移动
|
/
|
±0.5μm
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图像测量测量精度
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无拼接*1
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广视野
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±2μm
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±2μm
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高精度
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/
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±0.7μm
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有拼接*2
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广视野
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±(4+0.02L)μm
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±(4+0.02L)μm
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高精度
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/
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±(2+0.02L)μm
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测量软件
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VisionX
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显示分辨率
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0.1μm
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支持触发测头
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不支持
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XY电动 座标台
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X移动范围
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100mm
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Y移动范围
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承重
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2kg
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Z向电动 座标台
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移动范围
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35mm
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标尺精度
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外形尺寸(L×W×H) mm
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500×260×635mm
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重量
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30kg
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工作电源
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AC220V/50Hz
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工作环境
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温度10℃~35℃，湿度30~80%，振动<0.002g，低于15Hz
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*1 在调焦位置，使用环境温度为+20℃±1.0℃时。
*2 在调焦位置，使用环境温度为+20℃±1.0℃时、载物台上搭载重量为1kg以下、L为载物台移动量（mm）。
